隨著小型化高密度封裝的出現(xiàn),對(duì)高速及高精度的裝配設(shè)備越來(lái)越高。為滿足市場(chǎng)需要,環(huán)球儀器的FuzionSC平臺(tái),為廠家提供一個(gè)全面的解決方案以應(yīng)對(duì)現(xiàn)今最具挑戰(zhàn)性的半導(dǎo)體封裝應(yīng)用,以表面貼裝速度實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體封裝的精準(zhǔn)技術(shù)。
FuzionSC平臺(tái)能應(yīng)對(duì)倒裝芯片、系統(tǒng)封裝、2.5D、封裝疊加、擴(kuò)散型晶圓級(jí)封裝、嵌入式封裝、以及共形屏蔽應(yīng)用。
那么,FuzionSC平臺(tái)如何實(shí)現(xiàn)±10微米精度及< 3微米重復(fù)貼裝精度呢?
FuzionSC平臺(tái)的八大優(yōu)勢(shì):
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高強(qiáng)度的框架結(jié)構(gòu),角位對(duì)角位精準(zhǔn)度相差不到一微米
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專有的VRM線性馬達(dá):熱效應(yīng)穩(wěn)定、雙驅(qū)動(dòng)、1微米分辨率
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極優(yōu)化的運(yùn)動(dòng)控制,重復(fù)精度可達(dá)亞微米
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熱環(huán)境管理
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高精度的視覺(jué)系統(tǒng),位置映射測(cè)繪和校正程序
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精準(zhǔn)的二步式整板基準(zhǔn)點(diǎn)校正
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拾取前檢視
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通過(guò)AOI反饋調(diào)校貼裝
FuzionSC還具備兩大系統(tǒng)確保精度:

1\精度管理系統(tǒng)
結(jié)合硬件平臺(tái)和相關(guān)軟件,令FuzionSC的精度時(shí)刻保持在最佳狀態(tài)。
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采用有刻度的玻璃板及玻璃仿真元件來(lái)測(cè)量及自動(dòng)優(yōu)化貼裝精度
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將每個(gè)貼裝軸的X、Y及角度校齊
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確保達(dá)亞微米的工藝重復(fù)精度
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用戶界面顯示X、Y偏差歷史
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通過(guò)時(shí)間/板數(shù)為隔段,或溫度限度來(lái)激活系統(tǒng)
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2\Precisor上部特征檢測(cè)站
作為一個(gè)極精準(zhǔn)的檢測(cè)設(shè)備,確保達(dá)至最高的精準(zhǔn)度,大大優(yōu)化了貼裝精準(zhǔn)度。
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通過(guò)檢測(cè)元件本體與上部特征來(lái)提供準(zhǔn)確的上部特征對(duì)齊
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可采用群組拾取及貼裝來(lái)加快速度
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可真空駐留多達(dá)7個(gè)元件
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可選擇在現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)改造
FuzionSC貼片機(jī)兩大系列

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