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案例丨半導(dǎo)體晶圓廠LoRaWAN自動化廢物處理解決方案

已有13789次閱讀2022-09-09標(biāo)簽:

研華科技,2022年9月— 工業(yè)廢物處理系統(tǒng)對于高科技工廠至關(guān)重要。人工檢查方法受人力資源所限存在嚴(yán)重的健康和安全問題。研華基于LoRaWAN的WISE系列產(chǎn)品通過自動化數(shù)據(jù)采集和遠(yuǎn)程無線技術(shù),幫助管理員隨時了解操作情況、預(yù)測系統(tǒng)故障、提高生產(chǎn)效率。

如今,許多高科技產(chǎn)品制造中會用到危險化學(xué)品這些化學(xué)品不僅危險且嚴(yán)重污染環(huán)境,其廢物如何處理,以及處理措施就變得尤為重要。此時,工廠安裝廢物處理系統(tǒng),以確保員工和環(huán)境的安全。而廢物處理系統(tǒng),多需人工例行檢查來確保其運(yùn)行狀態(tài)穩(wěn)定但如果具有大量檢查站點(diǎn)的工廠完全依賴人力來完成任務(wù),這可能非常耗時。況且,有些工業(yè)廢物輸出點(diǎn)位于廢氣煙囪高處,這對于檢查員來說是非常危險的操作

研華基于LoRaWAN的WISE系列產(chǎn)品可以為工廠自動化監(jiān)控解決方案提供有力支持。利用自動化數(shù)據(jù)收集和遠(yuǎn)程無線技術(shù)取代傳統(tǒng)的人工檢查,使管理員隨時了解操作情況,預(yù)測系統(tǒng)故障,提高生產(chǎn)效率。

以下為您分享一個真實(shí)的半導(dǎo)體晶圓廠自動化廢物處理自動監(jiān)控應(yīng)用案例:

在亞洲擁有10多家工廠的全球重量級半導(dǎo)體晶圓制造商,其工廠中配備了酸性廢物處理系統(tǒng),用于處理光刻和蝕刻工藝產(chǎn)生的腐蝕性危險液氣體,經(jīng)處理的危險液氣體,只有符合環(huán)境保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)后方可進(jìn)行后續(xù)處置。

工廠巡檢員以往都是使用手持振動計檢查廢舊系統(tǒng)電機(jī)和風(fēng)扇是否有異常,但是,由于工廠周圍有20多個排氣扇,工廠只能安排每天一次的人工巡檢。此外,廢物系統(tǒng)大多安裝在屋頂上,每天爬上爬下于巡檢員來說非常危險。

因此,為了更有效完成檢查并降低員工風(fēng)險,工廠決定實(shí)施自動監(jiān)控系統(tǒng)解決方案,利用傳感器和網(wǎng)關(guān)對設(shè)備進(jìn)行預(yù)測性自動監(jiān)控。

方案需求

ISO 10816級傳感器,確保傳感器數(shù)據(jù)與手持設(shè)備一致

使用無線網(wǎng)絡(luò),無需布線

遠(yuǎn)距離傳輸覆蓋,避免信號中斷或網(wǎng)絡(luò)連接不穩(wěn)定

建立專用網(wǎng)絡(luò),防止數(shù)據(jù)泄露

堅固耐用的硬件產(chǎn)品,適用于惡劣的室外環(huán)境

Modbus通信協(xié)議支持將數(shù)據(jù)上傳到監(jiān)控系統(tǒng)

產(chǎn)品解決方案:

研華為自動化廢物監(jiān)測項目提供兩款產(chǎn)品:

LoRaWAN智能振動傳感器WISE-2410

LoRaWAN物聯(lián)網(wǎng)網(wǎng)關(guān)WISE-6610

自動化廢物監(jiān)測原理?

WISE-2410無線振動傳感器以磁性方式連接到電機(jī)并收集振動數(shù)據(jù),用以計算速度和位移特征值,然后通過基于LoRaWAN的無線網(wǎng)絡(luò)每半小時傳輸?shù)絎ISE-6610網(wǎng)關(guān)。WISE-6610解碼數(shù)據(jù)包,并通過

Modbus將數(shù)據(jù)上傳到晶圓廠現(xiàn)有的監(jiān)控和數(shù)據(jù)采集(SCADA)系統(tǒng)。獲得數(shù)據(jù)后,系統(tǒng)將其與ISO 10816嚴(yán)重性圖表進(jìn)行比較,并診斷電機(jī)的健康狀況。

 


為什么選擇這兩款產(chǎn)品?

WISE-2410是一款智能設(shè)備,內(nèi)置ARM Cortex-M4處理器,3軸加速度計和溫度傳感器。它在輸出前計算復(fù)雜的特征值(包括 VRMS、ARMS、峰值、位移、峰度、波峰因數(shù)、偏度和標(biāo)準(zhǔn)偏差),這有助于減少網(wǎng)絡(luò)帶寬負(fù)載。除了消除網(wǎng)絡(luò)布線問題外,WISE-2410的內(nèi)置LoRa收發(fā)器還具有低頻,長距離,低功耗,具有高穿透特性。實(shí)際測試結(jié)果表明,WISE-2410的傳輸距離可以達(dá)到15公里,這對于晶圓廠的500米區(qū)域來說已經(jīng)綽綽有余。

WISE-2410還充分利用了LoRaWAN的開放性,靈活性和低成本部署優(yōu)勢。用戶可以在沒有網(wǎng)絡(luò)運(yùn)營商幫助的情況下自己建立適當(dāng)?shù)木W(wǎng)絡(luò),因此數(shù)據(jù)可以直接傳輸而不是以環(huán)形方式傳輸(即,在返回用戶之前傳輸?shù)竭\(yùn)營商基站)。因此,用戶可以節(jié)省運(yùn)營商費(fèi)用,同時獲得必要的數(shù)據(jù)機(jī)密性保護(hù)。

此外,電池供電的 WISE-2410 功耗極低,僅兩節(jié) 3.6V 鋰 SOCl2 電池可持續(xù)使用兩年。無需外部電源連接,無需頻繁更換電池,因此使用非常方便,即插即用。 WISE-2410 尺寸緊湊 (84.7 x 48.3 mm), 螺柱、粘合劑和磁鐵三種安裝選擇,可根據(jù)現(xiàn)場條件提供靈活的安裝選項。WISE-2410具有較寬的溫度范圍(-20°C~85°C)和IP66認(rèn)證的防水防塵外殼,也有助于使WISE-2410成為戶外數(shù)據(jù)采集的理想產(chǎn)品。

WISE-6610是一款高性能的LoRaWAN物聯(lián)網(wǎng)網(wǎng)關(guān),可在工業(yè)環(huán)境中提供可靠的連接。由于它支持工廠中經(jīng)常使用的Modbus協(xié)議,因此它滿足了晶圓廠對向中央監(jiān)控系統(tǒng)進(jìn)行可靠有效數(shù)據(jù)傳輸?shù)囊�。另一個好處是WISE-6610可以連接多達(dá)500個WISE-2410設(shè)備,這對于根據(jù)需要擴(kuò)展自動監(jiān)控范圍,同時保持現(xiàn)有硬件是可取的。

綜上,工業(yè)廢物處理系統(tǒng)對于高科技工廠至關(guān)重要。人工檢查方法受人力資源所限,存在嚴(yán)重的健康和安全問題�,F(xiàn)在,通過自動化監(jiān)控解決方案,可以在沒有人在現(xiàn)場的情況下執(zhí)行和監(jiān)控廢物處理系統(tǒng)。

研華符合ISO 10816標(biāo)準(zhǔn)的LoRaWAN自動監(jiān)控解決方案提供的結(jié)果與人工檢測一致。其簡單的安裝有助于快速部署,且隨著工廠需求的變化,可以隨時添加主題。傳輸質(zhì)量比 Wi-Fi 和藍(lán)牙更快,具有更好的覆蓋范圍、穿透力和抗干擾性。晶圓制造商在此項目中看到研華解決方案出色的結(jié)果,因此除了廢物處理系統(tǒng)外,還計劃將其應(yīng)用于空調(diào)系統(tǒng)等其他工廠設(shè)施監(jiān)控

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