分解硅光模塊：

硅光是以光子和電子為信息載體的硅基電子大規(guī)模集成技術。

光模塊的核心組件之激光器芯片。光模塊是由多種光學器件封裝而成，其中內(nèi)部組件中激光器芯片是比較關鍵的部分，占光模塊成本的60%，主要影響光模塊的傳輸距離。

目前100G光模塊已打開了硅光技術的大門，但其發(fā)展仍然面臨一些挑戰(zhàn)。

硅光子工藝流程：

多層刻蝕→P/N體注入→多晶硅耦合→P/N+型注入→金屬硅化物→鍺生長→后段工藝→開窗。

超聲波清洗機清洗芯片：

超聲波清洗機是一種通過超聲波來清洗物品的設備，他的工作原理是：

1、生產(chǎn)超聲波：超聲波清洗機會通過超聲波發(fā)生器生成超聲波，超聲波是一種高頻聲波，頻率在人類聽覺范圍之外。

2、傳遞超聲波：超聲波發(fā)生器會把生成的超聲波通過超聲波傳送裝置傳遞到清洗槽中。

3、刺激清洗液：超聲波在清洗液中傳播時，會在液體中產(chǎn)生許多小的氣泡，這些氣泡會在一定周期內(nèi)破裂，產(chǎn)生許多的小氣泡沖擊波。

4、清洗物品：小氣泡沖擊波會對物品產(chǎn)生沖擊和摩擦，從而幫助清除物品上殘留的雜質(zhì)。

威固特VGT-603FTA自動智能式超聲波清洗機是半導體行業(yè)清洗產(chǎn)品的選擇之一：

清洗設備共有6個功能槽，配置有自動恒溫系統(tǒng)、觸摸屏系統(tǒng)、拋動系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、噴淋系統(tǒng)、溢流系統(tǒng)、自動智能式機械手系統(tǒng)、上下料系統(tǒng)等。設備采用水幕式噴淋系統(tǒng)、純水漂洗，為環(huán)保型清洗機。

清洗流程是自動上料→1回用純水超聲+噴淋漂洗（拋動）→2回用純水超聲（拋動）→3純水超聲（拋動）→4純水超聲（拋動）→5DI純水超聲（拋動）80K→6DI純水超聲（拋動）120K→手動下料。

VGT-603FTA自動智能式超聲波清洗機配的純水漂洗槽對芯片高要求的清洗，占有一定的優(yōu)勢。結構是每槽設四面溢流口，溢水槽寬35mm。各槽底部設排液閥，槽外設置拋動。

VGT-603FTA自動智能式超聲波清洗機噴淋系統(tǒng)能清洗到芯片的每個平面與角落：

1、在槽體的左右兩側(cè)、前后兩面及頂部各設置二把噴淋系統(tǒng)，噴淋系統(tǒng)直接作用于工件。

2、市水或其他水源由管路亦可直接進入噴淋槽儲液箱（可轉(zhuǎn)換裝置）。

3、每把噴淋系統(tǒng)上安裝6個不銹鋼噴嘴。

4、噴淋系統(tǒng)由噴淋管和噴嘴組成。

5、噴淋為“水幕式”噴淋，效果更好、清洗更徹底。

6、配有儲液箱系統(tǒng)。

7、噴淋系統(tǒng)，第一槽配備，其他各槽無。

8、噴淋泵為“南方”不銹鋼水泵。

9、噴淋泵與噴淋管相連，噴淋泵工作時產(chǎn)生壓力作用于工件，形成完整的噴淋系統(tǒng)。

10、配置有液位安全控制系統(tǒng)，當液位低時，噴淋泵不工作。

11、噴淋泵前裝有球閥，調(diào)節(jié)水量。

VGT-603FTA自動智能式超聲波清洗機機械手機構：

1、工件提升及橫移機構，由自動智能式機械手完成。

2、提升機構是由電機帶動鏈條傳送實現(xiàn)工件的提升下降運動。

3、橫移機構的電機采用“松下”伺服馬達，速度變頻可調(diào)。

4、為保證清洗工件及清洗液的潔凈，傳動機構不位于洗凈工件的上部，可避免輸送時金屬磨耗粉、潤滑油等掉落。

5、后部傳動機構與前部溶劑清洗區(qū)域用隔板分開，防止后部傳動粉塵進入前部。