半導(dǎo)體行業(yè)中，金剛石占有舉足輕重的地位。其中微波等離子體化學(xué)氣相沉積法（MPCVD）因其多項優(yōu)勢，成為制備大尺寸、高品質(zhì)單晶金剛石最有發(fā)展前景的技術(shù)之一。穩(wěn)定的大功率微波集成系統(tǒng)作為MPCVD設(shè)備中不可或缺的組成部分，其性能直接影響到人造金剛石的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
很多MPCVD設(shè)備制造商在采購時，最關(guān)注三個指標：高功率、高效率、高穩(wěn)定性，而滿足這三大指標的核心產(chǎn)品就是：麥米電氣Wepex 6KW/10KW/15KW微波集成系統(tǒng)。
01、高功率
隨著市場變化，更多的客戶需要更高的微波功率以滿足生產(chǎn)更大尺寸金剛石的需求，初期的6KW微波系統(tǒng)在市場上的占比逐漸減小。
為了滿足市場的需求，麥米電氣對Wepex 6KW微波系統(tǒng)進行全面升級。此次升級，我們引入了全新的技術(shù)架構(gòu)和算法優(yōu)化，推出Wepex 10KW/15KW微波集成系統(tǒng)，能夠穩(wěn)定輸出更高的微波功率，確保MPCVD腔內(nèi)能夠形成穩(wěn)定且高效的等離子體環(huán)境，為金剛石晶體的快速生長提供了充足的動力。
02、高效率
在追求高功率的同時，我們深知能效的重要性。通過使用軟開關(guān)電源技術(shù)，結(jié)合低損耗波導(dǎo)、環(huán)形器等材料以及先進的電源管理算法使Wepex系列微波集成系統(tǒng)實現(xiàn)了高效率輸出，有效降低能耗。
經(jīng)過與多款不同規(guī)格的磁控管長期測試得出結(jié)論：整體微波集成系統(tǒng)的輸出效率達到68-72%，處于行業(yè)領(lǐng)先水平。
03、高穩(wěn)定性
在人造金剛石的生產(chǎn)過程中，設(shè)備的穩(wěn)定性直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)的連續(xù)性。
麥米電氣Wepex系列微波集成系統(tǒng)采用液冷散熱方式，其內(nèi)部的高壓電源、環(huán)形器、磁控管均是水路連接，同時配有多個水流檢測傳感器，進一步保證整體系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
此外高壓電源采用精密的溫控系統(tǒng)、穩(wěn)定的電流電壓反饋機制以及多重安全保護設(shè)計，確保整體系統(tǒng)在長時間、高強度的工作環(huán)境下依然能保持穩(wěn)定的功率輸出。
系統(tǒng)測試實驗室
在以上三大關(guān)鍵指標外，麥米電氣Wepex系列微波集成系統(tǒng)兼具便利和環(huán)保等特性。
Wepex系列微波集成系統(tǒng)具有出色的兼容性和可擴展性，能夠與不同型號和規(guī)格的MPCVD設(shè)備輕松匹配。
此外配備了直觀易用的觸摸屏操作界面和智能化控制系統(tǒng)，支持標準MODBUS協(xié)議，PLC上位機可通過 RS485 遠程控制電源，實時讀取電源運行參數(shù)。
在環(huán)保意識日益增強的今天，綠色生產(chǎn)已成為企業(yè)發(fā)展的重要方向。Wepex系列微波集成系統(tǒng)產(chǎn)品在設(shè)計之初就充分考慮了環(huán)保因素，采用了環(huán)保材料和節(jié)能技術(shù)。在生產(chǎn)過程中，該設(shè)備減少了有害物質(zhì)的排放和能源的消耗，符合現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)的環(huán)保要求。
麥米電氣Wepex系列微波集成系統(tǒng)以其卓越的性能、便捷的操作、高效的節(jié)能等顯著優(yōu)勢，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域帶來了新的突破，推動微波等離子體設(shè)備向著更高性能、更廣泛應(yīng)用的方向邁進。如今Wepex 10KW/15KW微波集成系統(tǒng)已成功面市，逐漸成為廣大用戶的首選。
