一種耐高溫智能壓阻式內(nèi)燃機(jī)壓力檢測(cè)儀，其特征在于：由連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、信號(hào)處理電路、外接導(dǎo)線(xiàn)和液晶顯示屏組成，從左至右依次為連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、外接導(dǎo)線(xiàn)，各部分之間通過(guò)螺紋緊固連接，信號(hào)處理電路安裝在耐高溫壓力傳感器殼中，通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)與傳感器芯片相連，液晶顯示屏與外接導(dǎo)線(xiàn)相連。本實(shí)用新型創(chuàng)新之處在于取消了機(jī)械表式檢測(cè)裝置，采用了耐高溫壓阻式壓力傳感器，配置了信號(hào)處理電路和8字符液晶顯示屏，使得讀數(shù)直觀便于操作、測(cè)試精度高和結(jié)果更加科學(xué)合理，同時(shí)具有了多種數(shù)據(jù)檢測(cè)記錄功能，從而研制了耐高溫智能壓阻式內(nèi)燃機(jī)壓力檢測(cè)儀。
在壓力傳感器的微細(xì)加工技術(shù)中要求在樣品背面的掩膜上光刻出壓力腔窗口的圖形而且與正面圖形嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)。待別是在設(shè)計(jì)時(shí)必須將力敏電阻安排在膜內(nèi);有時(shí)離開(kāi)膜邊的距離僅為30P”。正反圖形錯(cuò)開(kāi)時(shí)，力敏電阻條對(duì)壓力靈敏度響應(yīng)便不對(duì)稱(chēng)，甚至有時(shí)有可能移到膜外，對(duì)壓力便無(wú)響應(yīng)。這種錯(cuò)位既可以有平移錯(cuò)動(dòng)，也可以有角度錯(cuò)開(kāi)。一般要求對(duì)形誤差小于20。30”M.角度偏差約在30以?xún)?nèi)。國(guó)外目前有成套的大型雙面光刻裝置.正反面對(duì)準(zhǔn)同時(shí)曝光，操作十分方便。國(guó)內(nèi)也進(jìn)口了這種雙面光刻機(jī)，但價(jià)格昂貴。因此國(guó)內(nèi)許多研究傳感器工作者提出了簡(jiǎn)易的雙面光刻對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。對(duì)現(xiàn)有朗單面光刻機(jī)不作或只作很小的改動(dòng)，且只需單光源.因而價(jià)廉、操作簡(jiǎn)便。光刻圖形質(zhì)量和精度都能滿(mǎn)足要求。
壓力傳感器制造過(guò)程是基于法布里珀羅干涉儀的壓力傳感器制造過(guò)程更加復(fù)雜。首先，硅膜萃取，選擇范圍取決于測(cè)試，目前的微型壓力傳感器多用超薄硅片的電影，因?yàn)槌」杵穸纫堰_(dá)到了硅膜厚度，相對(duì)的要求對(duì)壓力的厚度使用傳統(tǒng)的沉積和犧牲層硅膜技術(shù)的進(jìn)展，但較薄，更高質(zhì)量的厚度。玻璃加工，玻璃基板材料使用耐熱玻璃，上腔和嵌入式光纖通道是由超聲波鉆探方法進(jìn)行;同時(shí)，它也一直在處理與微加工技術(shù)。下一步是在微機(jī)電加工技術(shù)在玻璃纖維之中。外部用環(huán)氧樹(shù)脂固定一個(gè)金屬環(huán)，金屬環(huán)和由光纖端面光纖膠粘劑拋光后變得光滑。這一步，關(guān)鍵是膠粘劑的選擇，比現(xiàn)有的光學(xué)反射膠低，這可以確保該燈不暴露。最后，以一腔和使用方法以及硅膜玻璃陽(yáng)極鍵合。
