H-850KMLD 6足定位系統(tǒng)在XY軸方向100mm的行程范圍提供1µm的最小增量運動，在Z軸方向上提供0.5µm的最小增量運動。3個線性軸上的的重復(fù)度為±1 µm，旋轉(zhuǎn)軸上的重復(fù)度為±5µrad/9µrad。
所有的Physik Instrumente 6足系統(tǒng)出廠時都配有特殊的6足控制器和大量的軟件包，易于使用和集成。專用的C-887六足多軸矢量控制器直接接受笛卡爾坐標(biāo)系下的指令。用戶可以用一個軟件命令指定空間中的隨機支點，該功能是自動光學(xué)和機械校準(zhǔn)應(yīng)用的關(guān)鍵。 Microsoft Windows或Linux下的LabVIEW和基于文本的編程語言由庫和程序?qū)嵗齺碇С帧?nbsp;
